29일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 워트 주가는 종가보다 4.35% 오른 9600원에 거래를 마쳤다. 워트의 시간외 거래량은 7만9428주이다.
이는 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 양대 기업이 차세대 식각 기술인 '극저온'에 주목하고 있다는 소식이 전해지면서다.
당초 해당 기술은 고적층 낸드를 타깃으로 개발돼 왔으나, 최근 차세대 D램에도 적용하기 위한 테스트가 진행되고 있는 것으로 파악됐다.
식각은 반도체 제조공정의 핵심 요소로, 웨이퍼 상에 도포된 물질 중 필요없는 부분을 제거하는 공정이다. 메모리 및 시스템반도체 분야에 두루 쓰인다.
특히 최근 반도체 업계에서는 극저온 식각 기술이 주목받고 있다. 극저온 식각이란, 최대 -60~-70°C의 환경에서 식각 공정을 진행하는 기술이다. 기존 식각은 최대 -20~30°C 환경에서 진행됐다.
극저온 환경에서는 화학적 반응성이 낮아져 보호막 없이도 정밀한 식각이 가능해진다. 식각률(1분당 막을 식각해내는 참호(Hole)의 깊이) 또한 향상된다.
이 같은 장점 덕분에 극저온 식각은 'V10'이라 불리는 삼성전자의 차세대 낸드에 적용될 예정이다. V10은 삼성전자가 내년 양산을 목표로 한 차세대 낸드로, 430단대로 추정된다.
나아가 삼성전자, SK하이닉스는 차세대 D램에 극저온 식각 기술을 적용하기 위한 준비에 나섰다. 현재 글로벌 주요 장비기업으로부터 극저온 설비를 도입해, 실제 적용을 위한 테스트를 거치고 있는 것으로 파악됐다.
이 소식에 유니셈과 워트가 주목받고 있다. 유니셈은 스크러버와 칠러를 주력으로 제작하고 있는 회사로 칠러의 경우 국내 시장 점유율 30%, 올해 상반기 기준 매출 비중은 38.8%에 달한다.
특히 삼성전자 V10의 TEL 극저온 식각 장비용 칠러를 유니셈이 에프에스티와 양분해 납품하는 것으로 알려지면서 투자자들의 관심이 몰리고 있다.
워트는 항온수 공급부 개발 기술을 기반으로 반도체 특수공정에 사용되는 항온수 장비를 개발해 판매 중인 것으로 알려졌다. 여기에 워트는 신제품 극저온·극고온 칠러 등 개발이 가능한 연구·개발(R&D)센터 확대도 진행하고 있다.
김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
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