19일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 에프에스티 주가는 종가보다 1.64% 내린 2만4050원에 거래를 마쳤다. 에프에스티의 시간외 거래량은 2만3669주이다.
한국거래소는 장 마감 후 에프에스티를 공매도 과열종목 지정했다.
18일 한국거래소는 에프에스티에 대해 "코스닥시장 업무규정 제9조의2 및 같은 규정 시행세칙 제8조의5에 따라 다음과 같이 공매도 과열종목으로 지정되어 공매도 거래가 금지되오니 투자에 유의하시기 바란다"고 공시했다.
다만 주식시장의 유동성공급호가 및 시장조성호가, ELWㆍETFㆍETN 상품의 유동성공급을 위한 헤지거래 목적의 호가, 파생상품시장의 시장조성을 위한 헤지거래 목적의 호가는 예외적으로 공매도를 허용한다.
앞서 에프에스티(FST)가 업계 최초 개발한 극자외선(EUV) 펠리클 장비로 첫 매출 달성에 성공하며 주가가 크게 상승했다. 펠리클은 반도체 노광 공정에 쓰이는 제품으로, 반도체 회로 패턴이 그려진 마스크 손상을 최소화한다.
에프에스티는 국내 반도체 제조사로부터 극자외선(EUV) 펠리클 탈부착과 검사 등 핵심 장비를 수주했다고 17일 밝혔다. 지난해 장비 개발을 완료하고 처음으로 수익화에 성공했다. 이번에 수주한 펠리클 마운팅&디마운팅 장비는 EUV 펠리클을 EUV 마스크에 자동 탈부착하는 설비다.
EUV 펠리클은 장당 수억원에 달하는 EUV 마스크를 보호하기 위한 부품이다. 기존에는 펠리클을 마스크에 탈부착 과정 상당수가 수작업으로 이뤄졌다. 오염에 노출되기 쉬울 뿐 아니라 작업 속도도 느려 EUV 펠리클 도입의 걸림돌로 작용했다.
EUV 펠리클 탈부착 장비는 이를 100% 자동화했다. 공정 오염 가능성을 줄이고 웨이퍼 작업량을 뜻하는 '스루풋'도 대폭 늘릴 수 있게 됐다. 반도체 제조사 입장에서는 EUV 공정 생산성과 안정성을 동시에 향상시킬 수 있다고 에프에스티는 설명했다.
EUV 펠리클 인스펙션 장비는 반도체 제조 공정 뿐 만 아니라 EUV 펠리클 개발 및 생산 업체도 활용할 수 있다. 반도체 제조사 외 여럿 소재·부품 업체로 수요 시장을 넓힐 수 있다는 의미다.
에프에스티 역시 자체 EUV 펠리클을 개발 중인데, 해당 검사 장비를 적극 활용할 방침이다. 기존 반도체 공정 장비와 온도 조절장치, 펠리클을 주력하는 에프에스티가 본격적인 EUV 펠리클 장비 매출을 거둠에 따라 수익 다각화도 가능할 것으로 예상된다.
에프에스티는 국내외 반도체 제조사의 EUV 공정 라인 확대가 EUV 펠리클 수요를 앞당길 것으로 전망했다. 이에 따라 탈부착 및 검사 장비 공급도 늘 것으로 기대했다. 우선 국내 반도체 제조 시장을 공략한 후 글로벌 시장 공급까지 노릴 계획이다.
에프에스티 관계자는 “EUV 펠리클 검사장비 개발로 현재 회사가 개발 중인 EUV 펠리클 양산성 확보에도 기여하고 개발 속도를 높여 빠른 시장 진입이 가능할 것”이라며 “향후 주요 반도체 제조업계 EUV 공정이 활성화되면 관련 장비 수요도 크게 증가할 것”으로 기대했다.
하지운 기자 thebigdata@kakao.com
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